לאחר כניסת האור למפצל הקורה, ניתן לחלק את האור הרגיל לשלושת הסוגים הבאים על פי אורך הגל:
ליד UV (ליד UV): 200-380 ננומטר
ואקום UV< vuv=""> -200 10-200 ננומטר
אולטרה סגול קיצוני, אולטרה סגול קיצוני (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10 ננומטר
לאחר כניסת האור למפצל הקורה, ניתן לחלק את האור הרגיל לשלושת הסוגים הבאים על פי אורך הגל:
ליד UV (ליד UV): 200-380 ננומטר
ואקום UV< vuv=""> -200 10-200 ננומטר
אולטרה סגול קיצוני, אולטרה סגול קיצוני (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10 ננומטר